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三氟化氮

三氟化氮

名称/化学式：三氟化氮/NF3
包装规格：44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm)：99.99%
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名称/化学式：三氟化氮/NF3
包装规格：44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm)：99.99%


       三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

我公司的气体产品包括：工业气体和特种气体。特气体主要由进口和厂家代理直销为主，产销的特气种类齐全，具有很强的竞争力。至今为止，本公司经营的气体产品有工业气体、混合气体、 超高纯气体、灭菌消毒气体、照明气体、标准气体等八个系列共50多个品种。

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